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无接触式测量 厚度 电阻率 TTV Bow\弯曲度 Warp\翘曲度 型号

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无接触式 厚度 电阻率 手动
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型号: DSi2000
单价: 面议
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发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2013-01-30 14:38
 
详细信息


硅片要求     规格: 方片125×125mm 、156×156mm
         圆片 3"、4"、5"、6"、8"

测量功能 厚度: 单点及多点厚度
                TTV: 总厚度偏差
           体电阻率: 单点及多点电阻率
                TRV: 总体电阻率偏差

测量指标 厚度 范围: 150-1000μm 
   测量误差:≤±1.0μm
   重复性1σ:≤0.2μm 

  TTV 范围: 0.0-200.0μm
   测量误差:≤±0.50μm
   重复性1σ:≤0.2μm
              电阻率 范围: 0.1-30Ω.cm
   测量误差:≤±3.0%*R
   重复性1σ:≤1.5%*R

设备尺寸  360mm(L)×350mm(W)×500mm(H)
 

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