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无接触式 厚度 电阻率 手动 硅片要求 规格： 方片125125mm 、156156mm 圆片 3、4、5、6、8测量功能厚度：单点及多点厚度 TTV:总厚度偏差 体电阻率：单点及多点电阻 |
2013-01-30 |
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无接触式 厚度 TTV Warp\翘曲度 Bow\弯曲度 能够测量Si，蓝宝石，GaAs，InP，Ge等材料硅片要求规格： 晶圆2、 3、4、5、6、8测量功能 厚度：单点及多点厚度 TTV:总厚度偏差 Warp：翘曲度Bo |
2013-01-30 |
