产品特色
采用高优质的原生多晶硅料
确保产品有合适的电阻率
完美的晶体结构及良好的电学性能
产品参数
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产品规格 |
6'' |
6．5'' |
8'' |
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制备方式 |
CZ |
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导电型号 |
P |
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掺杂剂 |
B |
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晶向 |
<100>±2° |
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电阻率 |
1.0~3.0Ω.cm |
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少子寿命 |
≥8μs |
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氧含量 |
≤20ppm |
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碳含量 |
≤1ppm |
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直径 |
≥∮153mm |
≥∮168mm |
≥∮203mm |
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电阻率反翘 |
不允许 |
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崩边 |
不计入有效长度 |
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裂纹 |
不计入有效长度 |
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双晶/孪晶 |
不计入有效长度 |
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位错密度 |
≤3000个/cm2 |
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孔、洞 |
不允许 |
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