当代多晶硅生产工艺技术概论

《当代多晶硅生产工艺技术概论》

第一章 前言
第二章 现代多晶硅工厂的基本构成
第三章 原材料制备系统
第四章 三氯氢硅合成系统
第五章 三氯氢硅提纯系统
第六章 氢还原单元
第七章 还原尾气回收系统
第八章 四氯化硅氢化单元
第九章 氢化尾气回收系统
第十章 热氧化技术回收废弃氯硅烷
第十一章 多晶硅后处理单元
第十二章 安全及环境保护系统
第十三章 工艺支持系统
第十四章 公用工程
第十五章 辅助系统
第十六章 附录
第十七章 参考文献