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多晶硅沉积工艺中中间层对多晶硅质量的影响

2011-03-21 5340 0.23M 0
李伯海, 秦福文, 吴爱民, 王艳艳, 徐茵, 顾彪
( 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室, 辽宁大连116024)


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