单晶炉开机准备标准

单晶炉开机准备标准 一、 开炉前检查内容 1、下炉室4次清扫一次 2、过滤器1炉清扫一次 3、上副室、小副室每炉都要清扫 4、过滤器打开之前内部为一个大气压 5、泵油按期更换：4炉更换一次 二、 装炉要求（ 1、 检查观察窗玻璃能否看清前视窗口镀金层无明显严重脱落，温控窗无明显溅硅及损坏现象； 2、 电极和电极隔热坏无损坏； 3、 炉底石墨盘无损坏（下轴石墨护套要放正防止碰到石墨下轴）； 4、 单晶炉已清洁。 5、 确认控制柜规格是否与上一炉相同 6、 检查确认籽晶是否需要更换 7、 检查确认石墨托杆与石墨托盘是否有挥发物以及破损 8、 检查石墨下轴螺丝是否上紧 9、 检查加热器电极石墨螺丝是否上紧 10、 检查确认加热器是否绝缘 11、 检查取温孔是否对中 12、 检查石墨坩埚是否对中、有无摆动现象、停滞现象 13、 确认籽晶、籽晶夹头是否安装到位 14、 检查确认石英坩埚有无气泡、裂纹等异常情况 15、 检查确认多晶是否与随工单相符 16、 检查确认sop与当前随工单相符 17、 装料后环境卫生打扫 18、 装料后检查并校准坩埚零位 三、 抽空、检漏 1、 真空泵已开、泵冷却水已开通 2、 隔离阀已打开 3、 漏气率符合工艺要求 四、 化料、稳定 1、 氩气已开、泵已开、氩气流量符合sop要求 2、 有无打火现象 3、 有无溶硅沸腾想象 4、 炉内压力符合sop要求 五、 引晶 1、 氩气流量符合sop要求，拉速符合要求 2、 放肩：放肩拉速符合sop要求 3、 转肩：转肩速度符合sop要求，埚随比准确，已投自动，生长控制sop已投上，并调好 4、 等径：晶转、埚转已调好，直径已测量准确 5、 收尾：是否有棒摆，液面震动，埚摆。拉速是否有大的波动，以及埚边结晶现象 六、 停炉 晶棒是否按工艺要求提升，坩埚是否按工艺要求下降，功率是否按停炉工艺操作。 补充：氩气压力（大罐压力）是否符合开炉工艺要求。 水温水压，是否符合工艺要求， 正常状态：水温 22℃±5；水压 0.15-0.2 炉子各种密封圈是否安装好。