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点击 6480回答 0 2011-05-16 20:51

单晶硅电阻率头部虚高怎么处理?

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1.采用什么设备?
2.采用多少温度?
3.退火时间如何控制?(温度如何控制?
4.是单晶棒退火还是硅片退火?
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