4月22日下午,南昌市杨文斌副市长和中微半导体设备(上海)有限公司(以下简称“中微”)尹志尧董事长分别代表南昌市人民政府和中微公司,在南昌前湖迎宾馆签订了战略合作框架协议,携手共同发展。
中微公司还与兆驰半导体、乾照光电、聚灿光电、德豪润达、士兰明芯等企业签订了总数超过两百台的MOCVD设备销售合同。
江西省委常委、南昌市委书记殷美根,南昌市委副书记、代市长刘建洋等南昌市和高新区党政领导,国家半导体照明工程研发及产业联盟秘书长吴玲,中国LED产业与应用联盟秘书长关白玉,以及嘉宾近百人,出席了签约仪式。
中微公司董事长兼首席执行官尹志尧博士在会上致辞,对江西省政府、南昌市政府和南昌高新区给予中微的大力支持表示感谢,并承诺与南昌市政府和开发区密切合作、强强联合,在南昌建立中微的设备制造基地,并协助共同开发南昌半导体设备和材料基地。同时,尹志尧博士对上海科创投、国家集成电路发展基金、兴橙资本、华登国际等中微投资方对公司一贯的大力支持表示衷心感谢。
据双方合作协议,中微公司将在南昌大规模制造具有自主知识产权的MOCVD设备,并不断扩大生产规模,将南昌高新区打造成为全球最重要、规模最大的高端MOCVD装备制造基地;推进在南昌开展MOCVD相关的基础科学研究,包括深紫外、功率器件及Micro LED等第三代半导体的应用产品开发,逐步将南昌中微打造成为在国内外有重大影响力的研发平台和世界级MOCVD研发、制造及创新中心;与南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心合作,加快推进硅衬底LED原创技术产业化;积极促进中微公司生产基地及上下游供应链企业落户南昌高新区,吸引国际一流的设备和材料厂商落户,形成半导体高端设备制造的产业集群。
目前,中微公司已落户南昌高新区,一期租赁9000平方米厂房进行过渡生产,现已经实现部分投产,预计5月上旬可实现全面投产;项目二期将在2019年启动建设。
中微公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微通过创新驱动自主研发的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已在国际主要芯片制造和封测厂商的生产线上广泛应用于45纳米到7纳米及更先进的加工工艺和最先进的封装工艺。目前,正在亚洲地区40多条国际领先的生产线上运行的中微反应台(包括介质刻蚀、TSV和MOCVD)已将近800个。中微开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备不仅已在客户生产线投入量产,而且已成为在蓝光LED市场占有率最大的领先设备。
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