派瑞公司变压吸附型氢气分离净化设备成功投运于三氯氢硅行业

今年4月份，派瑞公司和山东某三氯氢硅厂签约的三氯氢硅尾气净化设备正常投入使用，连续开车72小时，设备工作状况良好，达到了预期的设计目的和合同要求，甲方非常满意，顺利办理了交接验收手续。

经过调研，目前国内的厂家在三氯氢硅合成过程中，均存在大量合成后的尾气，该尾气的主要成份为氢气，组成比例大约为H2（80%），HCL（15%），SiHCl3（2%），SiCl4（0.5%），这些组份均是宝贵的生产原料，如直接淋洗后排空，既污染环境又浪费资源，因此需要进行分离提纯。我公司采用变压吸附原理对三氯氢硅合成工段排放的尾气进行分离提纯，产品气1为氢气，纯度可达到99.999%（可以再次进入HCL合成炉进行HCL合成或者其他用途），产品气2为解析气可以返回冷凝精馏工段回收SiHCl3和SiCl4。

派瑞公司于2008年开始对该行业进行调研、试验，经过技术人员历时2年的刻苦公关，终于成功投入生产。该设备的成功投运为三氯氢硅行业的尾气处理提供了可供同行业借鉴的解决方案，为企业节约了运行成本，也避免了环境污染。同时，该技术也可应用于多晶硅行业，多晶硅还原过程中产生的尾气成份与此相似，比例却低的多，更加容易处理。