三菱重工计划“2020年之前将薄膜硅太阳能电池的制造成本降至75日元/W”

　　三菱重工业在于长崎大学举行的第71届应用物理学会学术讲演会上，就该公司的薄膜硅型太阳能电池的开发经过及今后展望发表了演讲。该公司目前正在建设的新一代薄膜太阳能电池生产线的目标是，年产量达到50MW，转换效率达到15％。尽管还存在课题，但“如果能够实现这一目标，生产能力将达到目前的3倍，2020年之前模块的制造成本可降至75日元/W”（三菱重工）。

　　发表演讲的是三菱重工业原动机业务本部太阳能电池业务单元技术长高??。高?在演讲中提到了该公司制造技术的先进性。“制造装置均为自主生产。制膜速度高达2.3～2.5nm/秒。制造工厂全部实现了自动化，放入玻璃即可生产出太阳能电池模块。制膜装置内部还配备了自动清洗功能，可连续运转三个月”（高?）。

　　不过，从2007年10月开始启动生产线的非晶硅与微结晶硅的串联式太阳能电池中却出现了一项失算。“由于尺寸为1.1m×1.4m的面板初期效率为12.83％，因此稳定后的效率应该也能超过10％，最大输出功率可达到150W”（高?）。然而，实际产品的最大输出功率为130W，转换效率只刚超过8％。这是“因为模块位置不同时，性能偏差较大，而技术人员只汇报了模块中央附近的测量值”（高?）。目前正在改进技术，已经能够制造出尺寸相同、最大输出功率为140W（转换效率超过9％）的面板。

　　三菱重工业的高?表示，在采用新一代面板的太阳能电池制造技术方面，也大体制定了目标。与此前相比的较大变化包括，（1）面板尺寸为1.4m×3.3m，扩大至原来的3倍多；（2）将制膜采用的等离子CVD的等离子频率提高到VHF频段的60MHz；（3）对（2）的频率进行位相调制；（4）大幅降低（3）引起的电源周围的电力损失，等等。

　　（1）意味着将生产线的生产能力提高至原来的3倍，（2）意味着可提高制膜速度。“已经实现了2.62nm/秒±14.6％的效率”（高?）。但如果提高制膜速度，一般会导致性能偏差增大，难以实现面板的大尺寸化。为解决这个问题采用了（3）中提到的措施。对等离子的频率进行位相调制后，均一性将得到大幅提高。（4）指的是通过对供电线进行精确的阻抗匹配，因反射导致的电力损失减少了78％。由此，“能源回收期（EPT，Energy Payback Time）仅需一年”（高?）。

　　通过实现“制作一张面板使用2分30秒，传送一张面板在80秒以内”（高?）的高速制造，该生产线中每条生产线的年产量将达到50MW的规模。“制造装置已经基本进入工厂，正在进一步追求性能的提升”（高?），没有提及具体的预定开工时间。而是宣称，“2020年之前，单块模块每W的制造成本可实现75日元”（高?）。（记者：野泽 哲生）