业内表示,石墨烯,由于其优异的物理性质一直受到学术界的广泛关注,为了实现在微电子领域的应用,石墨烯薄膜需要转移或直接生长到绝缘衬底上。直接在绝缘衬底上生长石墨烯,有利于获得晶圆级石墨烯材料,对推动石墨烯材料在集成电路等领域的应用具有重要意义。锗材料应用范围增加,相关锗资源公司有望受益。
近期,上海微系统与信息技术研究所研究发现,在绝缘体上制备石墨烯使用锗薄膜做催化剂,可制备出高质量单层石墨烯材料,解决了使用其他金属催化剂引入金属沾污的问题。该项研究为获得晶圆级绝缘体上石墨烯奠定了基础,有助于推动石墨烯材料在微电子领域的应用。
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