领先LED和激光技术公司Soraa为其晶圆厂增加数套Plasma-Therm系统

弗罗里达州圣彼德斯堡--Sorra公司是一家领先的LED和激光技术公司，该公司最近购买了三套Plasma-Therm系统，用以在其晶圆制造工艺过程中进行等离子沉积和刻蚀步骤。Soraa由来自于圣巴巴拉市加州大学的开拓性氮化合物研究员Shuji Nakamura教授、Steve DenBaars教授和Jim Speck教授创建，公司正在开发新类LED和激光，用于普通照明和投影显示市场。在首席执行官Eric Kim的领导下，公司正迅速扩展其基于美国的批量生产制造能力。

公司所购买的三套系统包括790+® RIE、VERSALINE® PECVD和VERSALINE® ICP。通过提供电介质沉积和金属、电介质以及活性物质的结构排列，它们共同实现了前期关键的工艺技术、步骤，这对于开发和生产最先进的光子器件是至关重要的。而且，市场对LED和激光的需求仍在不断增加，因为它们已进入到包括非工业照明、显像、生物技术、国防以及其它工业领域的主流应用当中。

销售与市场营销执行副总裁Ed Ostan指出："当工程师们将他们的技能和知识应用于不同的半导体应用领域时，他们通常无法将其所拥有的知识和经验用于操作不同的设备集。应用Plasma-Therm工艺系统的积极经验不仅吸引了更多新的订单，而且还保持了持续的业务关系。以前使用Plasma-Therm设备所体会到的优越性在这次制造商购买Plasma-Therm设备的决定中起着重要作用。我们重视建立强有力的业务关系以及我们系统经过验证的可靠性和支持，这是客户重复订购的关键因素。"

Plasma-Therm成立于1974年，是先进的等离子工艺设备供应商，提供多种刻蚀和沉积技术。Plasma-Therm系统支持各种专业市场，如固态照明、薄膜磁头、MEMS、光掩膜和化合物半导体市场。为满足全球客户群的多元化需求，Plasma-Therm在北美、欧洲和亚太设有销售、服务和备件供应点。