日企放豪言：溅射技术将彻底改变钙钛矿电池业

作为对抗全球变暖担忧的一部分，不依赖化石燃料的能源成为此次会议的主要话题。此外，人们对太阳能电池也有很高期待。

引起特别关注的钙钛矿太阳能电池(PSC)在市场上需求特别高，成为新一代太阳电池。

钙钛矿是电池中非常精细的有机层组成的结构，而使用干燥溅射法的传统技术在沉积时会损坏透明导电氧化物(TCO)薄膜，导致有机层降解，从而无法实现所需的设备性能。对于透明导电氧化物来说，很难利用溅射沉积法。

近日，来自日本的京浜乐梦株式会社（KEIHIN RAMTECH）宣布成功开发了在四面相向溅射法中实现高品质成膜的RAM阴极产品。

据介绍，RAM FORCE溅射的优点，改进了钙钛矿太阳能电池的溅射沉积特性。

KEIHIN RAMTECH表示，RAM FORCE结构独特，通过四面对向靶材和磁场布置实现了低损伤沉积，在PSC上进行TCO沉积，与平面溅射设备相比，作为损伤指标的载体寿命提高了约30%。因此利用其低损伤性实现了低损伤沉积。

通过利用低损伤的溅射特性，PSC代表电池特性的曲线因子——填充因子(FF)达到75%以上。它已经开始用于研发应用和试点线路。

此外，RAM FORCE支持低于60℃(ITO: 100 nm)的低温沉积，因此适用于柔性基材上的溅射沉积。

还专注于其他应用，如对于PSC的空穴输运层(HTL)，可以使用NiOx层代替目前使用的Spiro-OmetaD等有机层，实现低损伤溅射沉积和低电阻。

另外，通过改变沉积工艺条件，NiOx也可以作为电子传递层(ETL)沉积，使使用相同的材料实现HTL和ETL沉积成为可能，从而提高性能，降低成本。