SERIS为ARC喷涂系统订购Singular PECVD工具

德国制造商Singulus Technologies(ETR:SNG)收获了一份Singular PECVD工具订单，这是新加坡太阳能研究所(Solar Energy Research Institute of Singapore，SERIS)订购的一款用于晶体硅太阳能电池的ARC系统喷涂工具。

SINGULAR是SERIS一项投入数百万美元研究硅片异质结电池及其大批量投产的研究的一部分。

Singulus Technologies的首席执行官Stefan Rinck工程博士表示：“SERIS是亚洲领先的太阳能研究机构，Singulus Technologies非常自豪能同托马斯•穆勒(Thomas Mueller)博士以及他的团队在异质结太阳能电池项目上进行合作。我们相信这项基于我们用于新型太阳能电池减反射喷涂的Singular ICP-PECVD喷涂工具技术的项目会获得商业成功，它能降低太阳能电池的生产成本，为光伏行业提供一种更具成本效益的能量来源。”

SERIS运营着硅片太阳能电池和薄膜太阳能电池实验生产线各一条。

Singular工具已经证明了氮化硅ARC的能力，对目前太阳能电池的喷涂效率表现优异，涂色均匀。在SERIS项目中，这些能力还将扩展到异质结硅片太阳能电池的多层喷涂处理。这个工具的关键是PECVD光电直读光谱仪。光电直读光谱仪能够更好的控制薄膜的组织和高速处理的沉积物密度。

该工具的理念是基于静态内联生产结合内基底板传导以及静态过程的优点。还能进行复杂的多层喷涂，比如叠层或一连串基底板形成的斜坡。

这个研发项目由新加坡国家研究研究基金会(National Research Foundation of Singapore，NRF)和几个国际伙伴共同出资。这个项目将硅片、设备材料供应商、设备和组件制造商汇集到一起进行合作。