太阳能电池磁控溅射技术

Onyx-Revolution是一款旋转柱状磁控源，主要用于太阳能电池的优化应用。采用形状经过设计优化的磁体，可以在源和衬底之间获得近似垂直的沉积，这样可延长运转周期，降低清洗要求，获得更高的成品率。等离子源的靶材利用率高达85%或更高，平均每个柱状磁控源可节约20%的成本。