台湾高科技产业不断持续针对制程的优化进行投资,太阳能产业亦是如此;然而,许多精进制程在提高生产效率的同时,对于废气处理设备之供应商也带来了新的挑战。
为因应相关挑战,台湾达思公司特别推出UPTIMUM,此设备专为在使用端(point-of-use)达到高效率废气处理而设计,在化学气相沉积(CVD)制程中,可达到最高每分钟500公升(slm)的废气处理效率。
此款废气处理设备是首次售予台湾的太阳能电池制造商。太阳能电池厂商在制造抗反射薄膜以及钝化保护层时会产生一氧化二氮(N2O),目前台湾政府已计画将此类气体列入应处理的废气项目,以达一氧化二氮(N2O)减量的新标准,而UPTIMUM便是运用成熟的燃烧/水洗技术来分解一氧化二氮之最佳方案,此建议并已获台湾一知名研究机构认同。除了UPTIMUM优异的处理能力外,达思公司也透过低能源消耗、设备的高使用率,以及全年无休的完善服务,取得新客户的最终信赖。
台湾达思公司特别推出UPTIMUM,满足一氧化二氮(N2O)减量的新标准。
达思公司将于2012年9月5日至7日于台北南港展览馆所举行的「SEMICON Taiwan 2012国际半导体展」中展示相关解决方案,欢迎莅临达思展示摊位(摊位号码493)。
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