Edwards展出适用太阳能等产业的真空及尾气处理系统新品

Edwards是干式真空泵浦系统的研发技术领导先驱，其技术适用于半导体及其他相关产业包括LED、平面显示器、太阳能产品等产业的生产制造沉积制程，专门处理恶劣与腐蚀性的化学环境。

 

 

Edwards的干式泵浦解决方案和尾气处理系统的运作不仅环保，而且十分具有经济效益。其干式泵浦如iXL 和 iXH系列可以有效地节能减碳。今年SEMICON Taiwan展场中新发表的iXL1000，是为电介质刻蚀及轻型应用所设计的新型干式真空泵浦， 相较于非常成功的同等级iGX/GX系列干式泵浦，它能再有效降低多达33%的耗电量。同样的，Edwards的尾气处理解决方案，也有类似的绿色环保特色，并能降低燃油消耗。

 

Edwards的干式泵浦和尾气处理系统正在被广泛应用于台湾的半导体及相关产业，当中包括台湾所有主要的世界领先代工产业，Edwards在台湾至今已经安装超过22,000台干式和涡轮分子泵浦，以及3,000组尾气处理系统。台湾开创了外延片代工模式，在充满挑战的全球经济环境下，台湾的外延片代工厂持续投资于领先的技术，并把组件尺寸缩少到在奈米尺寸制程。Edwards先进的干式泵浦技术和尾气处理系统，在台湾能成功将半导体制程跨入深次微米 (deep-submicron) 技术的过程中，扮演了重要的关键角色；同时在日益重要的化合物半导体生产领域等新兴制程中，Edwards也能根据新开发的应用之特别需求，提供最适合的产品组合。

 

Edwards亚太区总裁 Neil Lavender-Jones指出：“Edwards在台湾发挥了两方面的作用。我们业界领先的干式泵浦技术，对现今半导体生产制程中所需的真空环境而言，绝对是关键的核心。Edwards帮助整个产业以低拥有成本获得可靠、一致及节能的真空环境，并在维持高产量和高硅片“一次成功率”中发挥了重要作用。同样重要的是，我们的尾气处理系统确保了在这些制程中产生的高污染物质，包含可能加速全球暖化的气体，将没有任何机会扩散到自然环境里。对于Edwards公司来说，环保是企业的首要社会责任，我们始终不变的目标是将环境的碳足迹减到最少。”

 

2011年，Edwards客户在全球各地的设备总共减少排放相当于8,500,000公吨的二氧化碳。Edwards将参与9月6日(星期四)在台北世贸南港展览馆402A室，由SEMICON Taiwan 2012展会举办的绿色制程技术趋势论坛，强调Edwards在环境管理中扮演的角色和肩负的责任。论坛主题是绿色生产制造的先进技术，真空产品业务经理Mike Percy和资深产品经理Jerome Boegner将会发表演说，题目为“真空和尾气处理系统在能源和设备方面的节省优势” (时间为下午3:00到3:30)。

 

自1998年Edwards在台湾设立以来，公司的规模已成长五倍，员工数从42名扩展至目前共有205名。2010年Edwards更加强对台湾客户的承诺，于苗粟县竹南镇设置一占地5,000平方米 的先进服务销售中心，为顾客带来更贴近的在地服务，并扩展各项服务的范围。随着Edwards在台湾不断的提供服务改进和支援，也吸引了众多的客户，在短短两年内，公司在台湾的服务业务已经出现显著的成长。

 

Edwards在亚洲深耕达四十年，现在与此区域各个顶尖的半导体制造商合作，提供整合式真空和尾气处理解决方案，包括建置、管理、服务和支援。