天龙光电首单MOCVD设备签约

天龙光电(300029）13日宣布，2012年9月11日天龙光电控股子公司江苏中晟，通过全资子公司中晟光电设备(上海)有限公司于2012年9月11日首次与一家客户签订一台设备销售合同，约定将于2012年11月30日之前在客户端开始设备安装、测试。

资料显示，天龙光电主营单晶炉多晶炉，此外也在开发蓝宝石炉、多线切割机等其他产品，而MOCVD就是其储备的新产品之一。自光伏产业整体进入严冬以来，天龙光电主营就难以振作，2011年业绩同比下滑27%，2012年上半年亏损5265万元。如今MOCVD宣布有实质性进展，这对天龙光电来说，是难得的利好。

天龙光电工作人员对记者表示，公司这台设备能生产LED蓝绿光，主要用在照明和背光源领域，比红光的应用范围还要广，技术一部分是自己的，一部分来自客户，这次签约的客户位处长三角，是做外延片的企业，但该工作人员表示并不方便透露客户的名字。

随着化合物半导体器件(如 GaAs MMIC、 InP MMIC以及GaN蓝光LED)市场的不断扩大，MOCVD系统的需求量不断增长。目前国际上实力最为雄厚的MOCVD系统制造商有:德国Aixtron公司、美国的Emcore公司（其MOCVD已被Veeco兼并）、英国的Thomass~(1999年被Aixtron兼并)等。因为MOCVD系统最关键的问题就是保证材料生长的均匀性和重复性，因此不同厂家的MOCVD系统最主要的区别在于反应室结构。Aixtron采用行星反应(Planetary Reactor)，Emcore采用TurboDisc反应室(该业务己出售给Veeco公司)、Thomas Swan(该公司于2003年2月份被Aixtron兼并)采用 Closed Coupled Showerhead(CCS)反应室。

目前国内拥有的进口MOCVD系统700台左右，其中 Aixtron MOCVD系统和Emcore MOCVD系统占绝大多数，有少量的 Thomas Swan MOCVD系统、法国ASM MOCVD系统和日本RIPPON SANSO MOCVD系统，主要用于GaN LD/LED的研究和制造。