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碳化硅功率元器件的开发在分为二极管和晶体管2个阶段进行。二极管的结构较为简单，易于制造。首先公布产品的是德国英飞凌科技公司（Infineon Technologies），时间为2001年。如今在日本国内，有三菱电机、罗姆等7家企业涉足该领域，包括海外在内，目前有10多家企业进入了该领域，已经推出多种产品（表1）。
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| 表1 从事碳化硅功率元件或功率元件碳化硅基板业务的主要企业 |
另一方面，晶体管仍处于开发阶段。虽然有企业宣布已经实现产品化，但似乎仅能用于部分用途。最大的问题在于其结构较为复杂，难以生产，以及成本较高。
据称，仅将利用硅半导体制造的逆变器的二极管部分改为碳化硅，即可使能量损失削减15～30％。不光是二极管，如果将晶体管也改为碳化硅，损失可降低到50％以下。根据具体用途，有时会取得更好的效果。
例如，罗姆从今年开始生产的碳化硅功率模块，其二极管和晶体管均使用了碳化硅，该公司称，与原先使用硅的产品相比，可使电力损耗削减85％左右（图6）。
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| 图6 罗姆开发及开始量产的全碳化硅功率模块 |
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