KLA-Tencor推出光伏电池检测系统PVI-6

KLA-Tencor Corp. (Milpitas, Calif.) 今天宣布推出太阳能电池检测系统――PVI-6，对光伏硅片和电池进行在线双面光学检测。

检测工艺贯穿于整个太阳能电池量产过程，从空白硅片到氮化硅(SiN)涂布、金属镀膜和最终的分类测试，而该设备则用于其中一部分检测。KLA-Tencor表示，PVI-6软件提升了整体太阳能电池量产工艺的成品率，并支持更精确的产品分选。 “KLA-Tencor的ICOS部门在光伏和半导体后段量测和检测领域处于全球领先地位。

PVI-6基于超过6年太阳能产业的经验和超过25年在检测算法和成像技术及图像处理上的经验”，KLA-Tencor集团副总裁Jeff Donnelly表示。 KLA-Tencor说，PVI-6提供了更高的精度和可重复测量能力，达到4倍的测量精度提升，并提高了后段电池分选能力。系统配置了改进的校准和安装程序，校准时间减少了约80%。