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德国科腾(Köthen)安哈尔特应用技术大学日前收购牛津仪器公司(Oxford Instruments)旗下PlasmaPro System100 ICP 65设备。
该大学表示，此次收购将有助于其改善研究工作。PlasmaPro System100的关键特征包括加工温度的范围广泛，从低温至高达400ºC。
安哈尔特大学教授伯恩哈德(Bernhard)博士表示：“无掩模硅干法刻蚀工艺可用于处理硅衬底表面结构，以创造黑硅。”
“降低反射率为电池光捕获提供了更大的潜力。启用干法刻蚀工艺创造表面结构独立于硅衬底的晶体结构，并且能够应用于硅片的一侧。我们选择PlasmaPro系统由于其为我们提供了研究需要的所有功能。”
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