在SPIE先进光刻会议的开幕式上,与会的演讲者都鼓吹说,当前的衰退正是新兴市场创新的好机会。
应用材料(Applied Materials Inc.,Santa Clara, Calif.)显示和薄膜太阳能产品事业集团的高级副总裁兼总经理Gilad Almogy提醒说,尽管2009年将是糟糕的一年,半导体工业仍将创造每季度万亿美元的收入,并在全球产生上十万个就业岗位。
Almogy指出平板显示(FPD)和光伏产业的类似摩尔定律。“FPD部分在过去9年内获得了极大的成长,”他补充说,这背后是同样驱动半导体产业生产力机制的摩尔定律。
晶硅和薄膜太阳能电池都需要降低每瓦成本。 (来源: Applied Materials)
光伏将是下一个快速成长的产业,他指出,尽管在2008年光伏产业达到了约5GW电能的峰值安装功率,仅占整个电力市场极微薄的销售收入份额。“这与20年前的半导体产业非常相似,”他说,“如果那时就有人知道晶圆厂会是今天这样的,每个需要花费50亿美金,有着难以置信的复杂程度,那么就会把它当作不可能的任务,并会对是否需要它们而产生怀疑。但是20年前
,人们更不知道每个年轻人都会拥有一部iPod,总统甚至不能缺少电子邮件5分钟。”
Almogy指出,在平板部分,LCD采用相对简单的半导体技术进行生产。“两者存在数量级的差别;设计规则的区别则更大。然而,LCD的许多设备和半导体业是相似的,就像部分工艺一样,只是不需要持续的晶体管尺寸紧缩。LCD也遵循着摩尔定律,随着面板尺寸变大,单位面积成本在降低,技术也从微型显示监视器发展到高清电视产品,每种应用都在缩减成本。”
太阳能也从半导体技术中获利。“有两种产生光伏电力的方法,一种是采用5寸或6寸的硅片,与半导体相似,每个硅片上制作二极管;几个硅片依次接在一起形成组件。”另一种是采用薄膜技术,将材料沉积在玻璃基板,然后在上面制作刻线和二极管,他说。太阳能光伏等比紧缩(scaling)的因素与增加的尺寸无关,而与增加的效率相关。
Bernie Meyerson, IBM Fellow
IBM系统和技术集团(Armonk, N.Y.)的CTO Bernie Meyerson则以“等比紧缩不再作用”开始了他的演讲。他表示,摩尔定律表明每12个月晶体管密度加倍,半导体工业经济也获得成长。“等比紧缩就像是一个指令,当芯片的晶体管数目加倍时,每个将只能消耗一半的能量,否则芯片将急剧燃烧。但是我们已经达到了技术的极限,不可能微缩一个原子。”
同时这位IBM院士表示,光刻面临严重的困境。过去这些年,从248到193nm,然后是193nm浸没式,波长一直在缩短,然后极紫外(EUV)光刻被推迟了,“EUV尚未为22nm做好准备。”
在22nm之前,业界必须寻找其他的方法,例如光源本身,因为像素化和正确选择掩膜照明方式是可能的。采用交互建模方法,有可能获得想要的结果。“然而,建模极其复杂,”Meyerson说,“需要一台超级计算机。要模拟每堆栈层各点的发光,以及与光刻胶和图形间的交互作用,来画出真正设计的内容。”IBM已经在22nm SRAM上制作了示范性产品,初步结果令人满意。
Meyerson指出需要“整体设计”,不仅仅是设计晶体管,而是设计整个系统,以最佳平衡光刻、芯片堆叠和晶体管的整个工艺技术。来源:Alexander E. Braun, Senior Editor -- Semiconductor International
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