太阳能硅片砂浆在线回收工艺

2.2 回收次数对切割质量的影响

从第二阶段回收比例比例到第四阶段回收比例调整过程中,第三阶段回收比例的砂浆共回收35批次，第四阶段回收比例的砂浆共回收37次，但随着砂浆回收次数逐渐增多，硅片质量也出现波动 ，其中第三阶段回收比例的砂浆使用到第35次时硅片表面出现严重锯痕，原因是砂浆切割能力不足 ；第四阶段回收比例的砂浆使用到第37次时清洗工序崩边碎片率较高，原因是硅片表面锯痕太深引起。

砂浆回收次数对切割质影响的分析



2.3 在线回收砂浆对线损的影响

对线锯切割完的旧钢线，取样线进行检测发现，使用不同回收比例的砂浆进行切割，钢线平均直径的磨损程度差异不大，但是椭圆度随着砂浆回收比例的提高而增大；同时，随着砂浆回收次数的增多，钢线直径的磨损程度和椭圆度也有所增大。由于钢线线损过大、椭圆度过高会直接影响携砂量，会因此会影响切割质量。

3 使用在线回收砂浆过程中存在的主要问题及调整措施

砂浆的质量直接影响硅片的切割质量，而使用在线回收设备回收的砂浆不可避免会存在质量波动，主要表现为砂浆中微粉含量偏高，切割能力不足，这将直接导致质量问题的产生，如硅片表面锯痕或TTV值超差。对此，主要措施为调整在线回收设备的相关参数：调整流量值、差速或主频、副频值。

参考文献

[1] 王文斌.机械设计手册[M].北京：机械工业出版社，2008

[2] 李保军.硅单晶锭多线切割中砂浆作用的研究[J].半导体技术，2007,32(6).

[3] 张楷亮，刘玉玲，张建新，等.半导体硅材料加工技术分析及相关化学品的研究[A].第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会论文集[C]，深圳，2003,90-105.

[4] 刘玉玲，檀柏梅，郝国强，等.硅的切削液的分析研究[J].电子器件，ZOOL,24(2):144-159

[5] 石森森.切削中的摩擦与切削液[M].北京：中国铁道出版.1994.120-135