1 引言
砂浆在线回收工艺,是将废砂浆经在线回收设备处理,将可重复使用的碳化硅颗粒和切割液回收再利用,操作方便,节约了废砂浆储存空间,且有效降低了成本。在此过程中无需添加任何化学成分,保证了砂浆的原有性质。但由于回收的碳化硅、切割液的质量和比例直接影响硅片切割质量,本文主要论述在线回收砂浆对切割质量的影响及调整措施。
2 在线回收砂浆切割质量分析
2.1 不同回收比例的砂浆切割质量分析
随着砂浆回收比例的提升,砂浆的粒径、圆度及微粉含量都会有所变化,从而影响砂浆的切割能力。
从使用在线回收设备,逐渐提高砂浆的回收比例,经过不同阶段的配比情况,切割质量对比如下:
可以看出,使用第四阶段回收比例的砂浆切割质量情况相对较稳定,各项指标较理想。
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