manz垂直式真空镀膜系统提升了其所生产晶硅太阳能电池的效率

• 核心技术涵盖了生产高效的PERC电池所必备的制程步骤
• 全自动化镀膜系统在晶硅太阳能电池的正面与背面进行保护层钝化，大幅提升晶硅太阳能电池的转换效率
• 核心技术涵盖了生产高效的PERC电池所必备的制程步骤
• 全自动化镀膜系统在晶硅太阳能电池的正面与背面进行保护层钝化，大幅提升晶硅太阳能电池的转换效率

Manz 为全球领先的高科技设备制造商，随着VCS 1200 PECVD垂直式真空镀膜系统问世，我们正式踏足真空镀膜的市场。VCS 1200 PECVD是一款专门针对晶硅太阳能电池进行正面与背面垂直定位镀膜的设备，可完成保护层钝化。它的发表也意味着我们完整掌握了全自动化晶硅太阳能电池生产的每一重要步骤，同时能提供晶硅太阳能电池整体解决方案的能力，可帮助客户规划有助于提升效率的制程并进一步降低投资及营运成本。

VCS 1200 PECVD杰出的表现在于发挥氮化硅及氧化铝层的最佳钝化效果，并且仅需单一步骤便能制造出传统用的多层堆栈。此外，高效能电浆源的使用，不仅呈现了最佳钝化效果，更保证了镀膜时的高稳定性。再者， Manz 镀膜载具系统（Manz Coating Carrier System）的创新制程概念及电池片垂直定位，能完全免除其他制造商在制程中使用机械式定位硅芯片而导致的阴影或针印 (shading or pin mark)，并有助于确保电池表面镀膜的高度均匀性，此亦可避免一般系统可能出现的瑕疵，不会在镀膜前或镀膜期间发生不必要的微粒沉积于电池片上(particle deposits)。此一环节对降低生产成本扮演着重要角色，可让新一代高效太阳能电池的生产再获可观利润。

技术的拓展使效率再提升
PERC太阳能电池的背面保护层钝化系分为三大步骤，首先，运用化学湿制程抛光电池片的一侧，然后使用电浆辅助化学气相沉积系统在电池片上生成氧化铝薄膜和一层氮化硅，最后再以雷射开启堆栈式绝缘层，藉此建立和电池片背面的局部接触。我们的VCS 1200 PECVD使用氧化铝进行太阳能电池背面保护层的钝化，这具备有两大效益：第一，保护层会将长波长范围的光子反射回电池，藉以提升电池的光电转换效率。第二，氧化铝有助于延长电池内部所产生之电荷载子的寿命，藉此增加电流与电压，这两项优势皆能提升太阳能电池的运作效率。因此我们的核心技术不只涵盖上述所有制程步骤，也是目前唯一一家能为客户规划有助于提升效率制程的设备供货商。

为现有生产线创造可观利润
VCS 1200 真空镀膜系统是由 2010 年成立的 Manz Coating GmbH 所研发，产量可达每小时1200片，并能与现有生产线完美整合。总经理 Mathias Höfler 表示：「能在极短时间内让系统销售上市，是由于我们在卡尔斯坦所聘雇 50 位高度专业工程人员汇集专家技术的成果。有了VCS 1200，我们如今已成能为晶硅太阳能电池生产提供每一重要制程步骤的设备供货商。」

VCS 1200能和现有生产线轻易整合，使电池制造商因此获得再次提振营收的绝佳机会。创办人暨执行长 Dieter Manz 补充道：「每个人都了解，太阳能光伏产业目前面临的难处在于满足所有电池制造商削减每瓦成本的需求。PECVD为完美的解决方案，将有效的帮助客户进一步降低投资与营运成本。」



Manz 利用新研发的真空镀膜系统，提升硅晶太阳能电池的运作效率



VCS 1200真空镀膜系统是整个制程的最后一块拼图：Manz 目前提供的系统，皆能达成晶硅太阳能电池生产制程的每一重要步骤。