美国维易科精密仪器(Veeco Instruments)发布了CIGS(Cu、In、Ga、Se)型太阳能电池玻璃底板用蒸镀成膜装置“FastLine”(英文发布资料)。
CIGS型太阳能电池玻璃底板使用的蒸镀成膜装置“FastLine”
该装置采用易于提高制造能力的系统,每小时可最多处理30块尺寸1.1m×1.4m的玻璃底板。并且,虽未公布具体数值,但该公司表示可量产高转换效率的太阳能电池模块。
蒸镀源采用该公司的“PV-Series”。基于蒸镀的成膜方法材料的使用量少,可降低单位输出功率的制造成本。此外,该公司还准备推出柔性底板使用的成膜装置“FastFlex”。(记者:吉泽 惠)
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