多晶硅调研报告二——从生产中看成本与创新

作者：李逸、雷鸣 （北京航空航天大学）

目录

一、西门子法——中国多晶硅技术的零的突破。 1

二、峨半人的结晶——改良西门子法 2

三、改良西门子法的二次改良 4

氢化合成工艺：冷氢化可降低能耗，提高三氯氢硅利用率。 4

分解还原工艺：流化床将大幅度降低能耗。 5

四、硅烷法——电子能级的新出路 8

五、冶金法——太阳能级的新起点 9

六、总结 10

七、参考文献 11

我们实践队通过采访了解到现在多晶硅生产中的技术等问题，生产中的成本是多晶硅产业如何与国外竞争的根本问题，我们在东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司，峨眉半导体材料厂，研究所（以下简称“东气峨半”）参观工厂和车间时也有这种感悟，只有使用新技术，才能减少生产成本，才能从根本上减少成本，以适应多晶硅新环境。当我们了解了这些后，我们决定自己通过查阅参考资料来搜集新技术，结合我们的实践来提出一点原来很少的东西，总结起来。变成我们自己的东西。我相信这份报告是独一无二的。我们也是希望我们材料学子能更多的了解到这些传统材料的现状与发展。也能从中学习创新技术和改良技术的途径。

东气峨半采用的是改良法西门子技术，这些在接下来的文章里还会对技术进行详尽的分析。我们从多晶硅生产的历史来看技术，最后还将结合国外著名多晶硅企业进行综合分析。