中硅高科多晶硅集成工艺技术获新突破

　　2009年6月2日，中硅高科承担的国家“十一五”科技支撑计划课题“大型三氯氢硅合成、提纯工艺技术与关键装置研究”，“高效加压还原炉系统研究”，“大型低温加压四氯化硅氢化技术与装置研究”三个课题和参与完成的课题“多晶硅标准、专利体系建设与研究”顺利通过验收评审。

　　验收评审会由国家科技部和中国电子材料行业协会在洛阳中硅高科组织召开。在深入实地考察了三个项目的课题现场后，专家组认真审查了相关技术资料，听取了课题承担单位的课题报告，重点询问了其中的关键问题。经过认真质疑和讨论，专家组成员一致同意以上四个项目通过验收。并希望中硅高科坚持以技术创新为动力，研发多晶硅生产先进技术，为中国多晶硅产业的发展做出更大的贡献。

　　多晶硅是集成电路和光伏发电用关键原材料，是《国家中长期科学和技术发展规划纲要》制造业领域基础原材料优先主题的重要内容，是国家重点鼓励发展的产品和产业。2006年，科技部启动了“十一五”国家科技支撑计划“多晶硅材料产业关键技术开发”重点项目。中硅高科承担三项研究课题、参与完成一项课题。

　　这四项科技成果的成功研制，成功解决了规模化多晶硅生产中的瓶颈问题，打破了国外技术封锁，填补国内空白，标志着我国多晶硅生产集成工艺技术又获新突破。研发成果应用于生产线，降低了生产成本，提高产品质量，提升我国多晶硅产业综合竞争力，使多晶硅产业和谐、健康、稳定、持久地发展。