国家重大专项“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”通过验收

2015年6月16日至17日，浙江晶盛机电股份有限公司承担的，有浙江大学，杭州慧翔电液技术开发有限公司参加的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（以下简称02专项）“硅材料设备应用工程”项目（2009ZX02011 ）中的“300mm硅单晶直拉生长设备的开发”课题（2009ZX02011-001A）在北京有研新材料股份有限公司，由国家02重大专项实施办公室和总体组组织召开的项目验收会上，以优秀的成绩通过了国家02专项验收专家组专家的正式验收。这是值得课题组成员与晶盛机电全体员工庆贺的大喜事！

自2009年1月该课题立项以来，经过课题组成员近四年的共同努力，成功研制出可安装28”和32”热场、满足300mm直拉硅单晶90-65nm特征线宽、高性能要求的新型全自动硅单晶生长炉商业样机。圆满地完成了课题合同书规定的各项技术、经济、知识产权、人才培养以及平台建设等指标，已达到课题任务书的考核要求。

该设备可实现集成电路级单晶硅生长的12道工艺全自动控制。课题涵盖了四大关键技术：1）实现了功率控制直径技术，以减少硅单晶COP缺陷；2）新型CCD图像处理系统检测与精确控制液面位置技术；3）油冷却新型磁场系统与控制熔体流动工艺技术；4）提高轴向温度梯度、高拉速、节能型的水冷夹套技术。2012年以来，课题产品已实现了海内外销售应用，浙江晶盛机电股份有限公司的高端电子级单晶炉产品技术得到了广大客户的充分好评与信赖。课题取得了良好的社会、经济效益，产业化前景优势明显。

国家02重大专项实施办公室和总体组，分别组织任务验收专家及财务验收专家，在对课题进行了严格的验收工作的基础上，对课题完成情况作出了总体评价：“课题组完成了任务合同书规定的研发内容。研制出满足90--65nm特征线宽集成电路用300mm直径硅材料的全自动硅单晶生长炉。各项技术指标、产业化指标、知识产权指标、人才队伍建设指标及平台建设指标均达到任务合同书的考核要求。提供的验收资料齐全。验收专家组专家一致同意课题通过验收。”