首台“中国智造” 130兆瓦高效晶硅太阳能PERC电池 “二合一”PECVD量产设备

昆山迅立光电设备有限公司（迅立光电），一家拥有国际领先技术的高端真空镀膜设备研发和制造企业，和天合光能有限公司（天合光能），一家全球领先的太阳能整体解决方案提供商，今天共同宣布，双方进行了首台“中国智造”130兆瓦高效晶硅太阳能PERC电池“二合一”PECVD量产设备的交付。



光伏行业经过近10年的高速发展，目前的一个产业瓶颈是用于制造高效晶硅太阳能电池的量产背钝化（PERC）真空镀膜设备的严重短缺以及欧美设备供应商在高端真空镀膜设备方面的垄断局面。

在国家“中国制造2025”战略方针的引导下，迅立光电设备公司的团队积极响应国家“创新驱动、质量为先、绿色发展、结构优化、人才为本”的号召，在昆山国家高新区成功的自主研发和制造了首台国产二合一PERC电池量产设备，实现了中国在光伏行业中重大装备制造的一个里程碑。该设备代表国际尖端水平，预计可以帮助客户将量产太阳能电池的转换效率提高到22%。 该设备采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）的核心工艺，将氧化铝和氮化硅两种薄膜材料在同一设备中实现真空镀膜（二合一）。公司通过自主研发的PECVD电极技术，成功的实现了用电容耦合式PECVD工艺沉积大面积高质量的氧化铝薄膜，属国际首创。这台全自动、高度集成的量产设备每小时可以完成4000个156mm硅片的背钝化镀膜，实现至少130兆瓦的产能。

天合光能有限公司长期致力于在高效太阳能电池量产方面保持国际领先的地位。公司设有光伏科学与技术国家重点实验室，拥有强大的研发和制造团队，不断创新，引领高效电池的研发和产业化。天合光能迄今已经先后16次创造并打破了在单晶硅和多晶硅PERC电池转换效率的世界纪录。天合光能希望能够用迅立光电的PERC设备将其实验室实现的22.61%转换效率（新的世界纪录！）的PERC电池量产化。

迅立光电公司董事长、国家“千人计划”特聘专家邓勋明博士说：“我们非常高兴能够在昆山这样一个高新技术产业基地完成高端真空镀膜设备的自主研发和制造，并实现首台国产高效晶硅PERC电池二合一量产设备的制造和交付。”邓博士表示：“能够和天合光能这样国际领先的战略伙伴合作，是迅立光电团队莫大的荣幸。我们希望能够和天合光能一起，将光伏行业中的中国智造推向一个新的高度。”

天合光能董事长兼CEO高纪凡先生表示：“为了不断地提高光伏组件的效率和降低制造成本以给我们的客户带来最大的价值，天合光能的技术和制造团队以及坐落在天合光能的光伏科学与技术国家重点实验室做出了巨大的努力，不断开发国际领先的新技术。我们很高兴能够和迅立光电设备的团队一起来将我们最新PERC技术应用到量产设备中，实现更高效率PERC电池的大规模生产。同时，我们也致力于帮助实现高端核心制造设备的国产化。”