KZ-湿法刻蚀硅片清洗机30/60MW
型号: KZ-LS-PSG(30/60MW)
品牌:Kzone(晶洲)
用于单晶/多晶电池生产线的去磷硅玻璃清洗及刻蚀工序(可选自动上下料机)
特点:
1.均匀精确刻蚀
2.传动系统专利设计,确保低碎片率
3.传动轨道专利设计,确保无水痕印
4.抽风系统专利设计,确保抽风稳定干净
5.低化学药剂消耗率,高节水性能
6.完善的过程监视系统和可视化操作界面
7.药液温度控制准确,药液的恒温装置安全可靠
8.自动智能补充耗料,实现药液精确控制
技术参数:
功能 去PSG与刻蚀
产品 多晶硅片 156mm*156mm*0.2mm
125mm*125mm*0.2mm
产能 传输轨道 5
125mm*125mm 3600pcs/小时
156mm*156mm 3600pcs/小时
碎片率 ≤2‰
工作方向 L-R或R-L(根据客户需求)
速度范围 可调范围 1.0-2.0m/min
操作速度 1.8m/min
操作高度 930mm±30mm
设备组成 槽体材质 PVDF, Nature PP
主传动材质 Ti, SUS316
滚轮材质 PVDF, Nature PP
滚轮间距 50mm
工程条件 电力 30kw,380V,3相5线,50Hz
纯水 2.5±0.5kgf/㎝2
压缩空气/氮气 6±0.5kgf/cm2
引进德国先进技术,价格优惠,品质保证
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苏州晶洲装备科技有限公司
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