KZ-全自动去磷硅玻璃(PSG)清洗机
型号: KZ-DE-PSG
品牌:Kzone(晶洲)
用于去除硅片经扩散工序后表面产生的磷硅玻璃
优点:
1 经典槽式结构,方便维护
2 伺服驱动系统保证举升和横移运动高速稳定
3 可定制的工艺过程和干燥处理方式
4 完善的过程控制系统,全自动控温和配液补液
5 友好的视窗操作界面,可进行参数设置、手动控制、工艺转换
产品用途:
本设备主要功能是对刻蚀后硅片的表面磷硅玻璃去除
被清洗硅片:125*125*0.20mm
156*156*0.20mm
最大产量:1600片/小时
每批最大处理量:200片
节拍:450秒
200片盒最大尺寸:730*410*210mm
技术参数:
功能 去PSG
产品 单晶/多晶硅电池片 156*156*0.2 mm
125*125*0.2 mm
产能 单篮节拍 450秒(可依客户要求调整)
125mm*125mm 2400 pcs/hour
156mm*156mm 1600 pcs/hour
碎片率 <0.05%
配置 Siemens PLC,10寸彩色触摸屏,急停按钮、指示灯及系列报警系统,PP和SUS304槽体,GF阀门与管路配件,透明移门与视窗,特氟龙等
引进德国先进技术,价格优惠,品质保证
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苏州晶洲装备科技有限公司
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