2-6英寸裸片、研磨片参数规格
生长方式: 直拉 CZ
型号: N型/磷、砷、锑 P型/硼 (掺杂元素)
晶向: 111/100
电阻: 0.0015-20 Ω·cm(电阻范围可选、也可按照客户需要订制)
厚度: 200-5000μm(厚度范围可选、也可按照客户需要订制)
平整度TIR:<5μm
弯曲度Bow: <20μm
翘曲度TTV: <20μm
粗糙度nm : <5nm
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