链式多晶硅片扩散后清洗机 60MW

用于多晶硅电池生产线中的湿制程刻蚀和扩散后清洗工序
优点：
1 先进的链式结构，确保精确刻蚀量
2 新型传动系统严格保证可靠性，碎片率低
3 废液废气排放系统稳定安全
4 省药节水，利用率高
5 完善的过程控制系统，信息采集准确，自动调温，自动补药
6 友好的视窗操控界面，及其他人性化细节
7 可扩展自动上下料台，浓度监控等模块
技术参数
功能 去PSG与刻蚀 　
产品 多晶硅片/单晶硅片 156*156*0.2 mm
125*125*0.2 mm
产能 传输轨道 5
125mm*125mm 3600 pcs/hour
156mm*156mm 3000 pcs/hour
碎片率 <0.3%
工作方向 L-R 或 R-L (依客户要求)
工作速度 可调范围 1.0-2.0m/min
操作速度 1.8m/min
操作高度  930mm±30mm
设备构成 槽体材质 PVDF,Nature PP
主传动材质 Ti,SUS316
滚轮材质 PVDF,Nature PP
滚轮轴距 50mm
工程条件 供电 30kw,380V,3 相 5 线,50Hz 
供水 2.5±0.5kfg/cm2
CDA/N2 6±0.5kfg/cm2
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