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氮化硅
■氮化硅分子式为Ｓi3Ｎ4，是一种重要的结构陶瓷材料。
■它是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损；
■ 除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应，抗腐蚀能力强，高温时抗氧化。
■ 而且它还能抵抗冷冲击，加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。
■涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层，
■涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂，及冷确后最终保证硅碇脱膜完整性。
■技术指标
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