*坩埚喷涂烘烤装置是多晶硅铸锭炉的辅助工艺装备,用于对铸锭炉所使的石英坩埚进行脱模剂(SiN粉末)涂层喷涂。该装置是铸锭炉必备附机,采用先进的温控匀热技术及美国产高精密防飞雾喷枪,能帮助用户完成高质量的坩埚喷涂,并减少原料的消耗!根据用户需求,坩埚喷涂烘烤工艺装备包括双向回转加热器、脱模剂(SiN)泵送系统、坩埚烘箱等辅助附件组成。
该喷涂台和喷枪适用于多晶硅坩埚的氮化硅涂层的喷涂。喷枪采用美国产的精密可调非金属喷枪,搅拌器采用非金属材料制成,在喷涂过程中绝对没有金属杂质进入多晶硅坩埚的涂层中,有效保证了氮化硅涂层的纯净。
该喷涂台和喷枪适用于多晶硅坩埚的氮化硅涂层的喷涂。喷枪采用美国产的精密可调非金属喷枪,搅拌器采用非金属材料制成,在喷涂过程中绝对没有金属杂质进入多晶硅坩埚的涂层中,有效保证了氮化硅涂层的纯净。
一、旋转台技术规格:
a、加热腔室:长880 mm×宽880 mm×深400~450mmb、适用坩埚(外径):870×870×420和480mm;
c、最大承重量:150(kg);
d、额定功率:9kW;
e、回转角度:270°;
f、翻转角度:15°;