该喷涂台适用于多晶硅坩埚的氮化硅涂层的喷涂。喷枪采用美国产的精密可调非金属喷枪,搅拌器采用非金属材料制成,在喷涂过程中绝对没有金属杂质进入。
a、SiN搅拌器驱动方式:气动;
搅拌速度:0~300rpm无级可调;
b、蠕动泵驱动方式:气动;
泵送方式:压送;
c、溢流阀:溢流压力可调;
d、喷枪雾化锥度:可调;
出口压力:15~40psi
e、吹枪:出口压力:80~100psi;
f、气源供气压力:6~
g、脱模剂SiN粉末,粒度≤
h、纯水(用户自备)工业一级,符合GB/TII446.1-1997 EW-I要求;