爱发科上市薄膜硅太阳能电池自动检测装置

　　日本爱发科（ULVAC）宣布，将于2010年7月1日上市可自动检测串联薄膜硅（Si）太阳能电池的单元特性及TCO（Transparent Conductive Oxide）特性的装置“MPEC-opt1300”。该公司以整体解决方案（Turn-Key Solution，成套提供太阳能电池产生线）为中心开展业务，其中已于2009年推出了可检测6种薄膜特性的一体型装置“MPEC-1300”。除了该膜质检测装置之外，此次还推出了可自动检测单元及TCO特性的装置。

　　此次的产品面向量产线的抽样检查用途，单元特性可通过破坏检查（分流电阻等部分特性可通过非破坏方式进行检查），TCO特性可通过非破坏检查分别进行检测。可在经过太阳能电池量产线各工序的性能评测以及最终产品检查（太阳能电池模拟器）后发现问题时用于解析原因等。作为选配项，还备有根据分流电阻检测结果（电阻不良的位置信息）的激光修复功能，以及对现有的MPEC-1300和此次的MPEC-opt1300的检测数据进行统一的“综合分析软件”。

　　在单元特性方面，原来是从形成太阳能电池单元的玻璃底板中切割下5mm见方左右，通过对其施以电极锡焊及绝缘处理来制作名为“迷你单元（Mini Cell）”的小片元件，然后采用向该元件照射或非照射光线的方式，对I-V和特性进行检测。但是，形成迷你单元的处理需要大量人工，而且处理时间较长。爱发科表示，原来在切割玻璃时每点需要180秒，锡焊时每点需要300秒，检测时每点需要75秒，比如81点检测需要750分钟，7点检测需要65分钟。

　　而此次的装置可在不切割玻璃底板的情况下，利用激光对玻璃底板上形成的硅薄膜层等进行切割，形成迷你单元。这样一来，激光切割时每点只需要30秒，检测时每点只需要40秒，从而实现了81点检测需要95分钟，7点检测需要7分钟的短时间检测。在单元特性的详细检测项目方面，可对转换效率、短路电流、开路电压、场形系数、最大功率、分流电阻及串联电阻等进行检测。

　　在TCO特性方面，原来需要进行切割玻璃底板的破坏检查，而此次的装置则可通过非破坏的方式对大面积的雾度特性（散射光的比例）分布等进行检测。而且，检测时间只有每点30秒。除雾度特性外，还可检测全光线透射率、扩散透射率及平行光线透射率。此次装置的价格为8400万日元（含选配项）。爱发科将以该公司提供一揽子解决方案的太阳能电池厂商为主要对象，展开销售。

　　现行的MPEC-1300已洽谈了5台左右的订单，其中有1台将于近期供货。此次的MPEC-opt1300也制定了第一年度销售5台的目标。该目标“是保守估计。薄膜太阳能电池厂商也可能会优先向平板显示器（FPD）及结晶太阳能电池进行投资，而推迟对薄膜太阳能电池的投资。因此，5台中也许有一部分会在下一年度销售”（爱发科标准产品事业部东日本营业部部长武田清）。（记者：长广 恭明）