台湾设备厂的太阳能梦 风雨中迎契机

　　面板业碰上历年来最严峻的金融海啸袭击，递延、砍单效应持续发威，在面临订单腰斩的考验下，太阳能产业成了台湾设备厂的“绿色奇迹”，然而景气阴霾挥之不去，前有欧美大厂大阵仗堵住去路，后有国内追兵，台湾设备厂的太阳能梦，如何才能拨云见日，重现当年台厂面板设备厂蓬勃的荣景?

　　生不逢时　乌云掩盖太阳商机

　　首先，从太阳能产业面来看，自2008年第4季受金融风暴及西班牙补助政策急转弯，需求大减，市况陷入一片混乱，多晶硅料源价格狂跌，太阳能业者面临亏损命运，料源始终是隐忧，也因此让无料源之忧的薄膜趁势崛起，于是扩产竞赛再次上演，借着大买国际设备厂的Turnkey设备，看起来似乎颇有与多晶硅分庭抗礼的意味。然而说到底，太阳能产业终究还是强褓中的婴儿，至于设备产业则可说还在胚胎期。

　　然而在孕育成长的过程中，大环境始终迷雾笼罩，过度扩产的结果，在景气照妖镜下一一现形，太阳能厂自身难保，只得减缓投资，而当中又属设备的投资金额最高，当然成为企业瘦身的献祭品。自2009年初，多晶硅与薄膜设备订单，皆开始出现递延，设备厂营运也大受影响。

　　而从以上情况可以发现设备厂正面临几个问题，第1、起步时间落后国外设备大厂数年，虽然已急起直追，缩短差距，但是短期间，难以扭转台湾太阳能厂偏爱进口设备的心态;其次，晶硅与薄膜，究竟选择何者发展，对台湾厂是一场豪赌;第3、虽然有过去面板设备的发展经验，然而关键制程如化学器气象沉积(PECVD)、烧结炉(Firing Furnace)、扩散炉(Diffusion)等仍技术不足。

　　晶硅与薄膜制程

　　回归到制程设备来看台湾厂商的发展现况，首先谈较成熟的晶硅太阳能电池制程，总共有4个主要阶段，分为硅原料(Silicon)、硅晶圆(Wafer)、太阳能电池(Cell)及模块(Module)。设备厂主要发展Cell段制程设备，先将硅晶圆经过捡片机挑选、检测及清洗(Incoming Wafer Inspection)，接着进行表面粗化制程(Texturing)减少阳光的反射，然后经过扩散炉(Diffusion)在p型基板上，形成1层薄薄的n型半导体，经由蚀刻(etching)将n型边缘除去，才能彰显出p-n二极管的结构，接着经过电浆镀膜(SiN-coating)、金属镀膜(Metallization)等方式在晶圆上印出导电电极，再经烧结炉(Firing Furnace )干燥，最后进行电池测试与分级(Testing and Sorting)。

　　至于非晶硅(Amorphous Silicon)薄膜太阳能电池模块(Thin-Film Solar Cell)，则是一种利用溅镀或是化学气相沉积方式，在玻璃或金属基板上，生成薄膜的薄膜太阳能生产方式。其制程是先清洗玻璃基板(Glass Cleaning)，而后藉由化学气象沉积(PECVD)制程设备在玻璃基板镀上透明导电膜(TCO coating)，进行雷射切割(Laser Scribing)分割玻璃上的TCO膜，接着形成金属膜(Coating Absorber)，再进行雷射切割，接着镀上背面电极(Coating Back Contact)后进行第3次雷射切割，最后经过检测(Inspection)、模块封装(Module Production)即完成出货。

　　另外，不论在晶硅或薄膜，制程与制程间，皆需要自动化设备进行基板抓取、运送，提升产品量率、生产速度及制程稳定性。

　　简而言之，可以将设备大抵分为制程设备及外围设备。晶硅部分的制程设备包括酸碱清洗槽、扩散炉、电浆蚀刻机、电浆镀膜设备、网印机、烘烤炉、红外线高温烧结炉等，外围设备包括晶圆检测机、电池检测及分级设备及自动化设备等。

　而薄膜制程设备包括PECVD、雷射切割机等，外围则包括真空设备、清洗设备及自动化设备等等。

　　从面板转进太阳能　台厂实力有水平

　　目前台湾太阳能设备发展如下：

　　均豪精密于2008年推出台湾第1条自动化多晶硅太阳能电池整线设备，预估于2009年第2季出货，并朝向非晶硅薄膜及铜铟镓硒(CIGS)相关设备发展。广运机械将于2009年5月推出非晶硅薄膜整线设备，并朝向CIGS设备发展。盟立自动化于2008年推出雷射画线机，已量出货给国内客户。FPD设备厂东捷于2008年开发出全线薄膜太阳能生产设备。帆宣参与工研院科专计划，开发出in-line PECVD。亚智科已有8台薄膜太阳能清洗设备出货。

　　大体来说，由于台湾厂在面板设备已经累积一定的实力，而太阳能电池制程与面板制程相似度高，因此过去在自动化设备、检测设备、清洗设备，台湾厂水平都不输国外设备大厂，在各大面板厂如日本夏普(Sharp)、台厂友达、奇美电口碑背书下，极具竞争力。至于制程设备方面， 台湾设备厂已研发出自制PECVD，但尚未普及，至于雷射切割机等已有业者生产制造出货给客户。因此，发展整线设备对台湾厂来说，已是能力可及之事，但还有许多技术提升的空间。

　　从市场面来看，台湾设备厂在太阳光电的发展面临两大竞争对手挑战，包括已发展多年跑在前头的欧美日设备大厂，以及快速追赶的国内设备业者。

　　国际大厂跑在前头　台厂力追

　　国际设备大厂进入时间早，研发技术进步，并且推出整厂设备输出(Turnkey)，从整厂设备的设计、制作、安装、组合、试车，以及实际操作时的技术知识